저온 수열 합성법에 의해 (1-102) 사파이어 기판상에 성장된 무분극 ZnO Layer 에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 장주일 | - |
dc.contributor.author | 오태성 | - |
dc.contributor.author | 하준석 | - |
dc.date.accessioned | 2021-11-11T03:41:11Z | - |
dc.date.available | 2021-11-11T03:41:11Z | - |
dc.date.created | 2021-10-25 | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.issn | 1226-9360 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/16816 | - |
dc.description.abstract | 본 연구에서는 낮은 비용과 간단한 공정의 장점을 가지고 있는 저온수열합성법을 이용하여 r-plane (1-102)sapphire 기판 위에 non-polar a-plane ZnO 박막을 성장하였다. 일반적으로 nanorod 형태의 ZnO를 성장시키는 특성을 보이는 Hexamethylenetetramine (HMT)와 2D layer 형태의 ZnO를 성장특성을 보이는 것으로 알려진 sodium citrate, 두 가지 전구체를 동시에 첨가하여 성장 하였을 때 몰 농도의 변화에 따른 ZnO 성장 특성을 비교해 보았다. ZnO 구조체의 형태와 특성 변화에 대하여 field emission scanning electron microscope (FE-SEM), high resolution X-ray diffraction(HRXRD)을 이용하여 분석을 진행하였다. 결과적으로, 두 가지의 용액의 특정 몰 농도일 때 r-plane (1-102) sapphire 기판 위에서 non polar a-plane (11-20) ZnO 구조체가 성장 될 수 있음을 확인 하였다. 이는 첨가제 조건에 의하여 c축 성장을 억제시키고, 측면 성장을 촉진시키는 반응에 의한 것으로 생각된다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국마이크로전자및패키징학회 | - |
dc.title | 저온 수열 합성법에 의해 (1-102) 사파이어 기판상에 성장된 무분극 ZnO Layer 에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | Growth of Non-Polar a-plane ZnO Layer On R-plane (1-102) Sapphire Substrate by Hydrothermal Synthesis | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 오태성 | - |
dc.identifier.doi | 10.6117/kmeps.2014.21.4.045 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 마이크로전자 및 패키징학회지, v.21, no.4, pp.45 - 49 | - |
dc.relation.isPartOf | 마이크로전자 및 패키징학회지 | - |
dc.citation.title | 마이크로전자 및 패키징학회지 | - |
dc.citation.volume | 21 | - |
dc.citation.number | 4 | - |
dc.citation.startPage | 45 | - |
dc.citation.endPage | 49 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART001950707 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | Non-polar ZnO | - |
dc.subject.keywordAuthor | Hydrothermal Synthesis | - |
dc.subject.keywordAuthor | R-plane sapphire | - |
dc.subject.keywordAuthor | AZO seed layer | - |
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