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SOI형 대칭 DG MOSFET의문턱전압 도출에 대한 간편한 해석적 모델A simple analytical model for deriving the threshold voltage of a SOI type symmetric DG-MOSFET
- Other Titles
- A simple analytical model for deriving the threshold voltage of a SOI type symmetric DG-MOSFET
- Issue Date
- 2007
- Publisher
- 대한전자공학회
- Keywords
- SOI(Silicon On Insulator); DG MOSFET; threshold voltage analysis; short channel effect; SOI(Silicon On Insulator); DG MOSFET; threshold voltage analysis; short channel effect
- Citation
- 전자공학회논문지 - SD, v.44, no.7, pp.16 - 23
- Journal Title
- 전자공학회논문지 - SD
- Volume
- 44
- Number
- 7
- Start Page
- 16
- End Page
- 23
- ISSN
- 1229-6368
- Abstract
- 본 논문에서는 완전 공핍된 SOI형 대칭 이중게이트 MOSFET의 문턱 전압에 대한 간단한 해석적 모델을 제시하고자 실리콘 몸체 내의 전위 분포를 근사적으로 채널에 수직한 방향의 좌표에 대해 4차 다항식으로 가정하였다. 이로써 2차원 포아송 방정식을 풀어 표면 전위의 표현식을 도출하고, 이 결과로부터 드레인 전압 변화에 의한 문턱 전압의 roll-off를 비교적 정확하게 기술할 수 있는 문턱 전압의 표현식을 closed-form의 간단한 표현식으로 도출하였다. 도출된 표현식으로 모의 실험을 수행한 결과 0.01 [㎛]의 실리콘 채널 길이 범위까지 채널 길이에 지수적으로 감소하는 것을 보이는 비교적 정확한 결과를 얻을 수 있음을 확인하였다.
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