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Ti/Cu/Au UBM의 Au 두께와 리플로우 온도에 따른 Sn-52In 솔더와의 계면반응 및 전단 에너지
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 최재훈 | - |
| dc.contributor.author | 전성우 | - |
| dc.contributor.author | 오태성 | - |
| dc.date.accessioned | 2022-02-17T05:40:58Z | - |
| dc.date.available | 2022-02-17T05:40:58Z | - |
| dc.date.created | 2022-02-17 | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.issn | 1226-9360 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hongik/handle/2020.sw.hongik/25583 | - |
| dc.description.abstract | Au 층의 두께를 0.1~0.7m로 변화시킨 0.1m Ti/3m Cu/Au UBM 상에서 48Sn-52In 솔더를 150-250oC의 온도 범위에서 리플로우 시 UBM/솔더 반응에 의한 금속간 화합물의 형성거동을 분석하였다. 또한 Ti/Cu/Au UBM의 Au 두께 및 리플로우 온도에 따른 볼 전단강도와 전단에너지를 분석하였다. 150oC와 200oC에서 리플로우 시에는 UBM/솔더 계면에 Cu6(Sn,In)5와 AuIn2 금속간 화합물이 형성되어 있으나, 250oC에서 리플로우 시에는 솔더 반응이 크게 증가하여 UBM이 대부분 소모되었다. 볼 전단강도는 UBM/솔더 반응과 일치하지 않는 결과를 나타내었으나, 전단 에너지는 UBM/솔더 반응과 잘 일치하는 변화 거동을 나타내었다. | - |
| dc.publisher | 한국마이크로전자및패키징학회 | - |
| dc.title | Ti/Cu/Au UBM의 Au 두께와 리플로우 온도에 따른 Sn-52In 솔더와의 계면반응 및 전단 에너지 | - |
| dc.title.alternative | Interfacial Reaction and Shear Energy of Sn-52In Solder on Ti/Cu/Au UBMwith Variation of Au Thickness and Reflow Temperatur | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 오태성 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 마이크로전자 및 패키징학회지, v.12, no.1, pp.87 - 93 | - |
| dc.relation.isPartOf | 마이크로전자 및 패키징학회지 | - |
| dc.citation.title | 마이크로전자 및 패키징학회지 | - |
| dc.citation.volume | 12 | - |
| dc.citation.number | 1 | - |
| dc.citation.startPage | 87 | - |
| dc.citation.endPage | 93 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.identifier.kciid | ART000951032 | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 48Sn-52In | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Solder | - |
| dc.subject.keywordAuthor | UBM | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Shear energy | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Shear strength | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 48Sn-52In | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Solder | - |
| dc.subject.keywordAuthor | UBM | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Shear energy | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Shear strength | - |
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