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소산파 집적광학 바이오센서에 적합한 Si 3 N 4 립-광도파로 해석 및 설계에 관한 연구
- Authors
- 정홍식
- Issue Date
- 25-Feb-2018
- Publisher
- 한국광학회
- Citation
- 한국광학회지, v.30, no.1, pp.15 - 22
- Journal Title
- 한국광학회지
- Volume
- 30
- Number
- 1
- Start Page
- 15
- End Page
- 22
- ISSN
- 1225-6285
- Abstract
- 소산파 기반 집적광학 바이오센서에 적합한 Si 3 N 4 립-광도파로 구조에 대한 해석적 분석을 통해서 단일모드 도파조건을 도출하 였다. 두-모드 간섭현상을 이용하는 집적광학 바이오센서 구조를 제시하고, 단일모드와 두-모드(감지영역)에 해당되는 립-광도파로 제원인 폭, 립 및 코어 두께 각각에 대해서 3 μm, 2 nm, 150 nm와 3 μm, 20 nm, 340 nm를 제안하였으며, FMM 전산해석을 통해서 감지영역의 두-모드들에 대한 광학적 특성들을 검토하였다.
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Related Researcher
- Jung, Hong sik
- Science & Technology (Department of Electronic & Electrical Convergence Engineering)