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나노기공성 기판을 사용한 산화물박막의 제조Fabrication of Oxide Thin Films Using Nanoporous Substrates
- Other Titles
- Fabrication of Oxide Thin Films Using Nanoporous Substrates
- Authors
- 박용일; Fritz B.Prinz
- Issue Date
- 2004
- Publisher
- 한국세라믹학회
- Keywords
- solid oxide fuel cell; thin film; nanoporous substrate 주 저자: 박 용일전화번호: 054-467-4365; solid oxide fuel cell; thin film; nanoporous substrate 주 저자: 박 용일전화번호: 054-467-4365
- Citation
- 한국세라믹학회지, v.41, no.12, pp 6 - 6
- Pages
- 1
- Journal Title
- 한국세라믹학회지
- Volume
- 41
- Number
- 12
- Start Page
- 6
- End Page
- 6
- ISSN
- 1229-7801
2234-0491
- Abstract
- 현재까지 개발되어 온 고체산화물 연료전지는 전해질로 사용되는 산소이온전도성 산화물의 저온에서의 낮은 전도도로 인해 그 사용영역이 고온으로 제한되어 왔으며, 기판재료가 연료가스 확산층으로 사용되어야 한다는 점 때문에 저온작동을 위한 박막화 역시 명확한 한계를 가지고 있다. 이러한 문제점은 고도의 평활도를 갖는 균일한 나노기공성 기판재를 도입함으로써 해결될 수 있으며, 본 연구에서는 나노기공성 기판에 비정질 금속박막을 증착/산화하는 방안을 제시한다. 초박막형성공정으로서, 산화 후 산소이온전도성 산화물을 구성하는 합금 타겟을 장착한 DC-magnetron sputter를 사용하여 20 ~ 200nm의 기공크기를 갖는 나노기공성 양극산화 알루미나 기판에 비정질 금속합금막을 형성하여 산화/열처리 과정을 거쳐 고밀도, 고강도의 초박막 제조공정을 실현하였다. 얻어진 박막의 가스투과특성, 입자/입계의 관찰, 상전이에 따른 결정구조/미세구조변화를 관찰하여 초박막 증착 및 전해질의 나노구조제어에 필요한 제반 기본물성데이터를 확보하였다.
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- Appears in
Collections - Department of Materials Science and Engineering > 1. Journal Articles
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