모스아이 패턴의 충전공정에 대한 점탄성 유한요소해석
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김국원 | - |
dc.contributor.author | 이기연 | - |
dc.contributor.author | 김남웅 | - |
dc.date.accessioned | 2021-08-12T00:24:05Z | - |
dc.date.available | 2021-08-12T00:24:05Z | - |
dc.date.created | 2021-06-17 | - |
dc.date.issued | 2014 | - |
dc.identifier.issn | 1975-4701 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/sch/handle/2021.sw.sch/12913 | - |
dc.description.abstract | 나노 임프린트 리소그래피는 수십 나노미터에서 수십 마이크론에 이르는 패턴을 간단하고 저비용으로 대면적 기판에 제작할 수 있어 차세대 패터닝 기술로 주목 받고 있다. 특히, 발광소자, 태양전지, 디스플레이 등의 분야에서는 저반사 나노패턴, 광결정 패턴 등 기능성 패턴을 제작하고 이를 적용하는 연구가 활발히 진행 중에 있다. NIL 공정을 통해 성공적으로 패턴을 전사시키기 위해서는 적절한 공정조건의 선택이 필요하다. 이에 본 연구에서는 열 나노임프린트를 이용하여 모스아이 패턴을 전사할 때, 충전과정 및 잔류층 형성을 수치 해석하여 폴리머 레지스트의 점탄성 거동을 살펴 보았고, 레지스트 초기 코팅 두께의 변화 및 가압력의 변화가 충전과정 및 잔류층에 미치는 영향을 조사하였다. 해석결과 본 논문에서 고려된 PMMA의 경우, 4 MPa 이상의 압력에서 100초 내로 충전공정이 완료되는 것으로 나타났다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국산학기술학회 | - |
dc.title | 모스아이 패턴의 충전공정에 대한 점탄성 유한요소해석 | - |
dc.title.alternative | Viscoelastic Finite Element Analysis of Filling Process on the Moth-Eye Pattern | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김국원 | - |
dc.identifier.doi | 10.5762/KAIS.2014.15.4.1838 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국산학기술학회논문지, v.15, no.4, pp.1838 - 1843 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국산학기술학회논문지 | - |
dc.citation.title | 한국산학기술학회논문지 | - |
dc.citation.volume | 15 | - |
dc.citation.number | 4 | - |
dc.citation.startPage | 1838 | - |
dc.citation.endPage | 1843 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART001874039 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | Filling process | - |
dc.subject.keywordAuthor | Moth-eye pattern | - |
dc.subject.keywordAuthor | Nanoimprint lithgraphy | - |
dc.subject.keywordAuthor | Viscoelastic finite element analysis | - |
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