나노임프린트 공정에서의 충전과정과 잔류층 형성에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 이기연 | - |
dc.contributor.author | 김국원 | - |
dc.date.accessioned | 2021-08-12T03:48:10Z | - |
dc.date.available | 2021-08-12T03:48:10Z | - |
dc.date.created | 2021-06-17 | - |
dc.date.issued | 2012 | - |
dc.identifier.issn | 1975-4701 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/sch/handle/2021.sw.sch/15638 | - |
dc.description.abstract | 최근 나노임프린트 리소그래피 공정이 마이크로/나노 스케일의 소자 개발에 있어서 경제적으로 대량 생산할 수 있는 기술로 주목 받고 있다. 나노임프린트 공정에 대해서, 최근까지 수많은 연구가 이루어지고 있으나, 대부분 R&D 수준의 재료 및 제조와 관련된 실험적 결과 혹은 공정이해 수준의 수치해석적 연구에 그치고 있다. 본 연구에서는 유한요소법을 이용한 점탄성 해석모델을 완성하여 나노임프린트 공정의 충전과정 및 잔류층 형성을 해석하고, 패턴 전사 실험을 통하여 해석의 정확성을 검증하였다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국산학기술학회 | - |
dc.title | 나노임프린트 공정에서의 충전과정과 잔류층 형성에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | A Study on the Filling Process and Residual Layer Formation in Nanoimprint Lithography Process | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김국원 | - |
dc.identifier.doi | 10.5762/KAIS.2012.13.9.3835 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국산학기술학회논문지, v.13, no.9, pp.3835 - 3840 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국산학기술학회논문지 | - |
dc.citation.title | 한국산학기술학회논문지 | - |
dc.citation.volume | 13 | - |
dc.citation.number | 9 | - |
dc.citation.startPage | 3835 | - |
dc.citation.endPage | 3840 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART001700795 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | Viscoelasticity analysis model | - |
dc.subject.keywordAuthor | Filling process | - |
dc.subject.keywordAuthor | Residual layer | - |
dc.subject.keywordAuthor | Nanoimprint experiment | - |
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