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고이동도 산화물 반도체 박막 트랜지스터 구현을 위한구동전류 향상
- Authors
- 장경수[장경수]; 이윤정[이윤정]; 이준신[이준신]; Jayapal Raja[Jayapal Raja]; 김태용[김태용]; 강승민[강승민]; 이소진[이소진]; Nguyen Thi Cam Phu[Nguyen Thi Cam Phu]; Than Thuy Trinh[Than Thuy Trinh]
- Issue Date
- 2015
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- Next-generation displays; Transparent; Flexible; Thin-film transistor; Oxide semiconductor; High mobility
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.28, no.6, pp.351 - 359
- Indexed
- KCI
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 28
- Number
- 6
- Start Page
- 351
- End Page
- 359
- ISSN
- 1226-7945
- Abstract
- 차세대 디스플레이는 투명하면서 유연한 디스플레이의 실현 뿐 만 아니라, 고해상도 및 높은 프레임 수 구현이 필수적이다. 능동형유기발광다이오드 및 차세대 디스플레이에 요구되는 핵심 요소로서 고이동도와 대면적 균일도를 가지는 박막트랜지스터(TFT) 소자 개발이 필수적이다. 현재까지의 투명디스플레이에 응용되는 TFT는 산화물 반도체를 채널층으로 하는 산화물 TFT가 주를 이루며, 그 중에서도 산화아연계 물질인 인듐-갈륨-아연-산화물이 디스플레이 업계의 주목을 받고 있다. 이번 논문에서는 그 동안 평판디스플레이에 널리 이용되었던 낮은 이동도의 한계를 가지는 비정질 실리콘 TFT 및 복잡한 공정 및 도핑공정 등 고비용의 장비를 필요로 하는 폴리실리콘 TFT의 단점을 극복하고, 차세대 고속 구동 디스플레이에 응용되는 저비용 산화물 TFT의 이동도 향상에 대한 그 동안의 연구 결과에 대해 정리하면서 앞으로의 연구 방향을 제시하고자 한다.
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Related Researcher
- YI, JUN SIN
- Information and Communication Engineering (Electronic and Electrical Engineering)