MoN 하지층을 이용한 스핀밸브의 자기저항 특성
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 김지원 | - |
dc.contributor.author | 조순철 | - |
dc.contributor.author | 김상윤 | - |
dc.contributor.author | 고훈 | - |
dc.contributor.author | 이창우 | - |
dc.date.available | 2018-05-10T17:26:59Z | - |
dc.date.created | 2018-04-17 | - |
dc.date.issued | 2006-10 | - |
dc.identifier.issn | 1598-5385 | - |
dc.identifier.uri | http://scholarworks.bwise.kr/ssu/handle/2018.sw.ssu/19069 | - |
dc.description.abstract | 본 연구에서는 하지층으로 사용한 Mo(MoN)의 두께 변화에 따른 스핀밸브 구조의 자기적 특성과 열처리 결과를 비교 검토하였다. 사용된 스핀밸브는 Si기판/SiO2/Mo(MoN)(tÅ)/NiFe(21 Å)/CoFe(28 Å)/Cu(22 Å)/CoFe(18 Å)/IrMn(65 Å)/Ta(25 Å) 구조이다. 또한 본 연구에서는 MoN 하지층을 Si 기판에 증착하여 열처리후 특성을 분석하였다. MoN 박막의 질소량이 증가(5 sccm까지)할수록 비저항은 증가하였다. 600 oC에서 열처리 후 측정한 XRD 결과를 보면 Si/Mo(MoN) 박막에서 규소화합물을 발견할 수 없었다. MoN을 하지층으로 사용할 경우 300 oC에서 열처리 후 측정한 XPS 결과를 보면 질소 유입량이 5 sccm인 경우가 질소 유입량이 1 sccm인 경우보다 안정적임을 알았다. Mo(MoN) 하지층을 사용한 경우 하지층 두께 변화(45 Å까지)에 따라 자기저항비와 교환결합력의 변화는 소폭이었다. Mo 하지층의 열처리 온도별 자기저항비는 열처리 전 상온에서 7.0 %이었고, 220 oC 열처리 때 7.5 %로 증가하였다. 이후 열처리 온도를 300 oC까지 증가 시키면 자기저항비는 7.5 %에서 3.5 %로 감소하였고, 질소유입량이 변화(5 sccm까지)하여도 유사한 경향을 보였다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국자기학회 | - |
dc.relation.isPartOf | 한국자기학회지 | - |
dc.subject | GMR | - |
dc.subject | spin valve | - |
dc.subject | underlayer | - |
dc.subject | MoN | - |
dc.subject | GMR | - |
dc.subject | spin valve | - |
dc.subject | underlayer | - |
dc.subject | MoN | - |
dc.subject | GMR | - |
dc.subject | 스핀밸브 | - |
dc.subject | 하지층 | - |
dc.subject | MoN | - |
dc.title | MoN 하지층을 이용한 스핀밸브의 자기저항 특성 | - |
dc.title.alternative | Magnetoresistance Properties of Spin Valves Using MoN Underlayer | - |
dc.type | Article | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | 한국자기학회지, v.16, no.5, pp.240 - 244 | - |
dc.identifier.kciid | ART001028678 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.citation.endPage | 244 | - |
dc.citation.number | 5 | - |
dc.citation.startPage | 240 | - |
dc.citation.title | 한국자기학회지 | - |
dc.citation.volume | 16 | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 조순철 | - |
dc.identifier.url | https://www.kci.go.kr/kciportal/ci/sereArticleSearch/ciSereArtiView.kci?sereArticleSearchBean.artiId=ART001028678 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.subject.keywordAuthor | GMR | - |
dc.subject.keywordAuthor | spin valve | - |
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dc.subject.keywordAuthor | GMR | - |
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dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
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