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BCl3/Ar 유도 결합 플라즈마 시스템에서 이온 에너지 분포에 따른 HfO2 박막의 식각
김관하; 김경태; 김종규; 우종창; 강찬민;
김창일
Article
Issue Date
2007
Citation
전기학회논문지ABCD, v.56, no.2, pp 349 - 354
Publisher
대한전기학회
BCl3/Ar 유도 결합 플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성
우종창; 김관하; 김경태; 김종규; 강찬민;
김창일
Article
Issue Date
2007
Citation
전기학회논문지ABCD, v.56, no.3, pp 566 - 570
Publisher
대한전기학회
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