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극저온 CO₂ 세정공정의 세정인자 최적화
이성훈; 김필기; 오승희; 석종혁; 오병준;
석종원
Article
Issue Date
2008
Citation
한국정밀공학회지, v.25, no.9, pp 109 - 115
Publisher
한국정밀공학회
화학-기계적 연마 공정의 물질제거 메커니즘 해석Part I: 연성 통합 모델링
석종원
; 석종혁; 오승희
Article
Issue Date
2007
Citation
반도체디스플레이기술학회지, v.6, no.2, pp 35 - 40
Publisher
한국반도체디스플레이기술학회
화학-기계적 연마 공정의 물질제거 메커니즘 해석Part II: 동적 시뮬레이션
석종원
; 오승희
Article
Issue Date
2007
Citation
반도체디스플레이기술학회지, v.6, no.3, pp 1 - 6
Publisher
한국반도체디스플레이기술학회
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