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Ar/CF4/Cl2 플라즈마에 의한 CeO2 박막의 식각 특성 연구
장윤성; 김동표;
김창일
; 장의구
Article
Issue Date
2002
Citation
전기전자재료학회논문지, v.15, no.5
Publisher
한국전기전자재료학회
CF4/Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
장윤성; 김동표;
김창일
; 장의구
Article
Issue Date
2003
Citation
전기전자재료학회논문지, v.16, no.7
Publisher
한국전기전자재료학회
Cl2/Ar 유도 결합 플라즈마에 의한 gold 박막의 식각특성
장윤성; 김동표;
김창일
; 장의구; 이수재
Article
Issue Date
2002
Citation
전기전자재료학회논문지, v.15, no.12, pp 1011 - 1015
Publisher
한국전기전자재료학회
유도결합 Cl2/CF4/Ar 플라즈마를 이용한 CeO2 박막 식각후 표면반응
이병기; 김남훈; 장윤성; 김경섭;
김창일
; 장의구
Article
Issue Date
2002
Citation
마이크로전자 및 패키징학회지, v.9, no.2, pp 4 - 31
Publisher
한국마이크로전자및패키징학회
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