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BCl3/Ar 유도결합 플라즈마 안에 CH4 가스 첨가에 따른 건식 식각된 TaN 박막 표면의 연구
우종창; 최창억; 양우석; 주영희; 강필승; 전윤수;
김창일
Article
Issue Date
2013
Citation
전기전자재료학회논문지, v.26, no.5, pp 335 - 340
Publisher
한국전기전자재료학회
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