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Dry Etching of Al2O3 Thin Films in O2/BCl3/Ar Inductively Coupled Plasma
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Xeng Yang; 우종창; Doo-Seung Um;
김창일
Article
Issue Date
2010
Citation
Transactions on Electrical and Electronic Materials, v.11, no.5, pp 202 - 205
Publisher
한국전기전자재료학회
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