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Showing results 1 to 1 of 1
Damascene Cu electrodeposition on metal organic chem-ical vapor deposition-grown Ru thin film barrier
Cho, SK;
Kim, Soo-Kil
; Han, H; Kim, JJ; Oh, SM
Article
Issue Date
2004
Citation
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B, v.22, no.6, pp 2649 - 2653
Publisher
A V S AMER INST PHYSICS
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