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초정밀 검사장비용 공기 베어링의 강성 특성에 관한 실험 연구An Experimental Study on Air Bearing Stiffness for Ultra Precision Positioning System
- Issue Date
- Dec-2005
- Publisher
- 중앙대학교 기술과학연구소
- Keywords
- 공기 베어링; 정강성; 동강성; Porous Air bearing; Static stiffness; Dynamic stiffness
- Citation
- 기술과학연구소 논문집, v.35-2, pp 85 - 90
- Pages
- 6
- Journal Title
- 기술과학연구소 논문집
- Volume
- 35-2
- Start Page
- 85
- End Page
- 90
- ISSN
- 1975-7174
- Abstract
- 본 논문에서는 초정밀 검사장비용 공기 베어링의 강성에 관한 실험적 연구를 수행하였다. 베어링 제작사에서는 특정 공급 압력 하에서 간극에 따른 강성만을 제공하고 있기 때문에 다른 공기 주입 압력을 사용하는 실제 현장에서는 공기 베어링의 강성을 정확히 파악할 수 없다. 따라서 정확한 강성 측정을 위하여 실제 사용 환경을 구현 할 수 있는 실험장치를 제작하였으며, 이 실험 장치를 이용하여 다공질 공기 베어링의 압력을 변화시키면서 간극에 다른 동강성 및 정강성을 구하는 실험을 수행하였다. 그 결과 권장 하중에서 약 1μm의 간극 오차가 발생하였다.
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- Appears in
Collections - College of Engineering > School of Mechanical Engineering > 1. Journal Articles
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