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투명 전극 ITO/Ag/ITO 박막의 광학적 및 전기적 특성 향상 연구open accessImprovement of Optical and Electrical Properties of ITO/Ag/ITO Thin Films for Transparent Conducting Electrode
- Issue Date
- Nov-2017
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- Transparent conducting electrodes; Thin films; ITO; ITO/Ag/ITO; Mobility; Electron concentration
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.30, no.11, pp 740 - 744
- Pages
- 5
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 30
- Number
- 11
- Start Page
- 740
- End Page
- 744
- ISSN
- 1226-7945
2288-3258
- Abstract
- 우리는 DC/RF 스퍼터링 방법으로 제조된 투명 전도 전극을 위한 ITO/Ag/ITO 다층 박막의 전기적 및 광학적 특성을 연구했다. 제조된 ITO/Ag/ITO 다층 박막은 4-point probe, UV-visible spectroscopy 그리고 Hall measurement을 이용하여 분석하였다. Ag의 두께를 5~10 nm로 조절하였을때, 400~1000 nm의 파장에서 약 80%의 평균 광 투과율을 보였다. 전자이동도는 Ag층의 두께가 증가함에 따라 감소하였고, 전자 농도는 급격히 증가하였다. 그 결과 18Ω/sq의 낮은 면저항을 구현하였다. 본 논문에서는 ITO와 Ag두께의 변화에 따른 투명 전극의 ITO/Ag/ITO 특성을 보고한다
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- Appears in
Collections - College of Engineering > School of Energy System Engineering > 1. Journal Articles
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