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193 nm 광원을 이용한 32 nm 급 패턴 근접 효과 보정
- Authors
- 오혜근
- Issue Date
- 17-Apr-2008
- Publisher
- 한국물리학회
- Citation
- 2008 년 봄 물리학회
- Conference Name
- 2008 년 봄 물리학회
- Place
- 대전
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