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75 nm 급 소자를 위한 single trench 구조의 alternating 위상변이 마스크 최적화
- Authors
- 오혜근
- Issue Date
- 20-Apr-2006
- Publisher
- 한국물리학회
- Citation
- 2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
- Conference Name
- 2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
- Place
- 휘닉스파크
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