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COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
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Simulation of mask induced polarization effect on imaging in immersion lithography
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
The influence of haze in alternating phase shift mask
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
EUV mask에서 defect 이 미치는 영향
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
50 nm 이하의 pattern 에서의 pattern collapse 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
The effect of haze in attenuated phase shift mask process
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
ArF contact hole 의 top view 에서의 pitch dependency 에 관한 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
EUV-2D photoresist 를 이용한 패턴 구현 및 특성 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
75 nm 급 소자를 위한 single trench 구조의 alternating 위상변이 마스크 최적화
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
Binary mask 에 생성된 haze 에 의한 CD 변화와 위상 변화 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
한국물리학회
Place
휘닉스파크
Optimization of dual trench methods in alternating phase shift mask
오혜근
Conference
Issue Date
2006
Citation
2006 년 봄 한국물리학회 학술논문발표회
Publisher
함국물리학회
Place
휘닉스파크
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Author
OH, HYE KEUN
15
Date Issued
2006
15
Type
Conference
15
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