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COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
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Random array contact hole position shift during resist reflow process
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
대전
22 nm 패턴 형성을 위한 EUV 입사각에 대한 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
대전
Haze defects by pellicle adhesive
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
대전
193 nm 광원을 이용한 32 nm 급 패턴 근접 효과 보정
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
대전
Influence of 32 nm node defect in EUVL
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
대전
리소그래피에서의 2차원 감광제 재흐름 공정 전산모사
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국물리학회
Place
대전
Immersion lithography 에서의 빛의 세기와 defect 에 관한 연구
오혜근
Conference
Issue Date
2008
Citation
2008 년 봄 물리학회
Publisher
한국믈리학회
Place
대전
1
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Author
OH, HYE KEUN
7
Date Issued
2008
7
Type
Conference
7
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