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COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY
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Double Patterning by using Resist Reflow Process for 22 nm node
오혜근
Conference
Issue Date
2009
Citation
2009년 봄 학술논문발표회 및 제 85회 정기총회
Publisher
한국물리학회
Place
대전컨벤션센터
EUV Lithography 를 위한 현상 후 굽기와 레지스트 재흐름 공정을 통한 패턴 거칠기의 비교
오혜근
Conference
Issue Date
2009
Citation
2009년 봄 학술논문발표회 및 제 85회 정기총회
Publisher
한국물리학회
Place
대전컨벤션센터
가상 공간의 감광제 안에 3차원 마이크로/나노 채널 형성 연구 : 반도체 리소그래피 공정의 바이오/나노 MEMS 응용
오혜근
Conference
Issue Date
2009
Citation
2009년 봄 학술논문발표회 및 제 85회 정기총회
Publisher
한국물리학회
Place
대전컨벤션센터
Optimum single ARC for 37 nm line and space pattern
오혜근
Conference
Issue Date
2009
Citation
2009년 봄 학술논문발표회 및 제 85회 정기총회
Publisher
한국물리학회
Place
대전컨벤션센터
Photoresist 의 합성에 따른 lithography 공정 후 패턴의 표면 거칠기 변화에 대한 전산모사
오혜근
Conference
Issue Date
2009
Citation
2009년 봄 학술논문발표회 및 제 85회 정기총회
Publisher
한국물리학회
Place
대전컨벤션센터
Non-uniform Thermal Distribution Caused by Air Flow
오혜근
Conference
Issue Date
2009
Citation
2009년 봄 학술논문발표회 및 제 85회 정기총회
Publisher
한국물리학회
Place
대전컨벤션센터
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Author
OH, HYE KEUN
6
Date Issued
2009
6
Type
Conference
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