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레이저 유기 충격파를 이용한 극자외선 리소그래피용 마스크 세정 장치 및 방법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박진구[박진구] | - |
| dc.contributor.author | 김태곤[김태곤] | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T09:00:52Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T09:00:52Z | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/35430 | - |
| dc.title | 레이저 유기 충격파를 이용한 극자외선 리소그래피용 마스크 세정 장치 및 방법 | - |
| dc.type | Patent | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 박진구[박진구] | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 김태곤[김태곤] | - |
| dc.type.rims | PAT | - |
| dc.type.iprs | 특허 | - |
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- ERICA 첨단융합대학 (ERICA 신소재·반도체공학전공)