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음향방출을 이용한 AFM 나노 절삭가공공정 및 취성재료의 기계적 특성연구Investigation for the Mechanical Properties of Brittle Material Si(100) and AFM nano Machining using Acoustic Emission
- Other Titles
- Investigation for the Mechanical Properties of Brittle Material Si(100) and AFM nano Machining using Acoustic Emission
- Issue Date
- Jun-2009
- Publisher
- 한양대학교 공학기술연구소
- Citation
- 공학기술논문집, v.19, no.1, pp.13 - 22
- Indexed
- OTHER
- Journal Title
- 공학기술논문집
- Volume
- 19
- Number
- 1
- Start Page
- 13
- End Page
- 22
- Abstract
- 본 연구는 AFM을 이용하여 고비용의 장치산업으로 여겨지는 반도체, MEMS 등의 가공기술에서, 저비용으로 다품종 소량생산을 효과적으로 만족시킬 수 있는 top-down 방식의 nano-lithography fabrication 기술을 개발하는데 궁극적인 목적을 두고자 한다. 취성재료 Si(100)의 AFM scratching 실험을 수행하고, ploughing/cutting 가공모드 및 취성 영역의 임계 깊이 특성을 분석, 평가하였다. 또한 센서 민감도가 우수하고 실시간 공정 모니터링이 가능한 음향 방출(acoustic emission) 센서를 적용하였다. AE센서로 가공상태를 모니터링하여 스크레치 process 와 개개의 신호파형, 가공 결과 등의 상관관계 확인을 통하여 취성 파손으로의 전환에 대한 판정 기준을 제시하였고 모니터링 및 가공 모드 판정 시스템 구축의 기초자료를 제시하였다.
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Related Researcher
- Lee, Seoung Hwan
- ERICA 공학대학 (DEPARTMENT OF MECHANICAL ENGINEERING)