센서융합방식의 실시간 모니터링을 이용한 MAF 특성분석

Abstract

나노 정밀도의 가공성을 구현 할 수 있는 폴리싱 공정(MAF)의 자동화 연구를 위해서는 실시간 모니터링 결과를 이용한 표면 거칠기 예측/분석 시스템에 대한 연구가 반드시 선행되어야 한다. 본 연구에서는 MAF 공정을 수행하면서 AE Sensor와 Force Sensor를 이용하여 신호를 획득하고 그 획득된 신호를 뉴런 네트워크의 input 값으로 활용하여 표면 거칠기를 예측하였다. 또한 센서 융합을 통해 예측된 표면 거칠기에 대한 신뢰성을 향상 시킬 수 있었다. 이를 통해 자성연마입자 공정을 포함한 finishing 의 자동화 연구에 많은 기여를 할 것으로 보인다.