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E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작기법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 박준우 | - |
| dc.contributor.author | 정희준 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T16:42:01Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T16:42:01Z | - |
| dc.date.created | 2021-02-18 | - |
| dc.date.issued | 2008-12 | - |
| dc.identifier.issn | 2005-9051 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/41929 | - |
| dc.description.abstract | 본 실험에서는 E-Beam lithography 기술을 이용해서 3차원 구조물인 air-bridge를 제작해 보았다. wafer에 서로 다른 민감도를 지닌 PMMA를 다층구조로 쌓아올린 후 다양한 dose 값의 노광을 통해 bridge 형태의 구조를 제작하였다. 또한 설계된 디자인으로 patterning후에 한번의 Au, Cr 증착을 통해 bridge를 완성하였다. 본 연구에서 사용된 제작 방법을 통해 기존의 방법보다 빠른 진행과정으로 보다 신뢰성 있는 air-bridge를 완성하였으며 다양한 형태의 복잡한 구조물에 응용 가능함을 알게 되었다. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 한양대학교 이학기술연구소 | - |
| dc.title | E-beam Lithography를 이용한 3차원 Air-bridge 구조의 제작기법 | - |
| dc.title.alternative | Fabircation Method of 3-Dimensional Air-bridge Structure using E-beam Lithography | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 정희준 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 이학기술연구지, v.12, pp.9 - 13 | - |
| dc.relation.isPartOf | 이학기술연구지 | - |
| dc.citation.title | 이학기술연구지 | - |
| dc.citation.volume | 12 | - |
| dc.citation.startPage | 9 | - |
| dc.citation.endPage | 13 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.identifier.url | http://www.earticle.net/Article.aspx?sn=106279 | - |
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- Jeong, Hee jun
- COLLEGE OF SCIENCE AND CONVERGENCE TECHNOLOGY (DEPARTMENT OF APPLIED PHYSICS)