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고진공에서 이온 카운터를 사용한 실시간 입자모니터링 시스템의 개발
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 안강호 | - |
| dc.contributor.author | 김용민 | - |
| dc.contributor.author | 윤진욱 | - |
| dc.contributor.author | 권용택 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T21:40:32Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T21:40:32Z | - |
| dc.date.created | 2021-02-18 | - |
| dc.date.issued | 2006-05 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/44903 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 한국반도체및디스플레이장비학회 | - |
| dc.title | 고진공에서 이온 카운터를 사용한 실시간 입자모니터링 시스템의 개발 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 안강호 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집, pp.255 - 258 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.title | 한국반도체 및 디스플레이장비학회 2006년도 춘계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 255 | - |
| dc.citation.endPage | 258 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 3 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.identifier.url | https://www.koreascience.or.kr/article/CFKO200631037010845.jsp1ff8%3Fkj=OJOOBS&py=2014&vnc=v31n1ff1ff882&sp=141 | - |
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