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AlN 체적탄성파 소자의 주파수 응답특성에 대한 전극재료의 영향
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김보현 | - |
| dc.contributor.author | 박진석 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-23T23:05:49Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-23T23:05:49Z | - |
| dc.date.created | 2021-02-18 | - |
| dc.date.issued | 2005-07 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/45820 | - |
| dc.description.abstract | Air-gap형 구조의 체적탄성파 소자 제작시 중간지지층을 별도로 요구하지 않는 새로운 공정방법을 제안하였고, 상부 및 하부전극의 다양한 금속재료에 따른 주파수 응답 특성의 변화를 비교, 분석함. | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 대한전기학회 | - |
| dc.title | AlN 체적탄성파 소자의 주파수 응답특성에 대한 전극재료의 영향 | - |
| dc.title.alternative | Effect of electrode material under frequency response characteristics of AIN based FBAR devices | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 박진석 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2005년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집, pp.1865 - 1869 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2005년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.title | 2005년도 대한전기학회 하계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.startPage | 1865 | - |
| dc.citation.endPage | 1869 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.description.journalClass | 3 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.identifier.url | http://koreascience.kr/article/CFKO200503977419050.page | - |
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- PARK, JIN SEOK
- ERICA 공학대학 (SCHOOL OF ELECTRICAL ENGINEERING)