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극초단파 처리를 통해 제작된 다공성 유전층 제작과 이를 이용한 정전용량식 고민감도 압력센서의 특성 평가
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 오제훈 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-06-22T11:06:18Z | - |
| dc.date.available | 2021-06-22T11:06:18Z | - |
| dc.date.issued | 2019-05-16 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/erica/handle/2021.sw.erica/5009 | - |
| dc.title | 극초단파 처리를 통해 제작된 다공성 유전층 제작과 이를 이용한 정전용량식 고민감도 압력센서의 특성 평가 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 2019년도 한국정밀공학회 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 제주 라마다호텔 | - |
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