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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제작된 Ga-doped ZnO 박막의 공정압력에 따른 전기적, 광학적 특성
정성진; 김덕규; 김홍배; 박찬;
최형욱
;
김경환
;
박정웅
Article
Issue Date
2012
Citation
Applied Science and Convergence Technology, v.21, no.1, pp.17 - 21
Publisher
한국진공학회
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