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DC 스퍼터링 및 급속 열처리 공정을 이용한 사파이어 기판상 에 형성된 2차원 황화몰리브덴 박막의 특성에 관한 연구
조의식
; 척원서; 마상민;
전용민
;
권상직
Article
Issue Date
2022
Citation
반도체디스플레이기술학회지, v.21, no.3, pp.105 - 109
Publisher
한국반도체디스플레이기술학회
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