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MOS-FET 구조의 MWCNT 가스센서를 이용한 초희박 NOx 가스 검출 특성Detection Characteristics for the Ultra Lean NOx Gas Concentration Using the MWCNT Gas Sensor Structured with MOS-FET
- Other Titles
- Detection Characteristics for the Ultra Lean NOx Gas Concentration Using the MWCNT Gas Sensor Structured with MOS-FET
- Issue Date
- 2013
- Publisher
- 한국전기전자재료학회
- Keywords
- MWCNT (multi-walled carbon nano tube); MOS-FET; NOx Gas sensor; Ultra lean concentrations
- Citation
- 전기전자재료학회논문지, v.26, no.9, pp.707 - 711
- Journal Title
- 전기전자재료학회논문지
- Volume
- 26
- Number
- 9
- Start Page
- 707
- End Page
- 711
- ISSN
- 1226-7945
- Abstract
- 본 연구에서는 우수한 전도특성과 화학적 안정성, 및 소형화가 가능하며, 대량 생산이 가능한 카본 나노튜브 (Carbon nanotubes)를 이용하여 MOS-FET 구조의 가스센서를 제작하였다. CNT를 CVD법을 이용하여 MWCNT (multi-walled carbon nanotuve)를 제조하였으며, 제조된 MWCNT를 이용하여 MOS-FET 구조의 NOx 가스센서를 제작하였다. 제작된 가스센서를 이용하여 게이트-소스사이에 전압을 인가 시 가스센서의 특성을 실험 하였으며, 가스센서의 SEM 및 홀효과 측정기를 통하여 구조적 및 전기적 특성을 분석하였다. 또한, NOx 가스의 농도와 온도에 따른 가스센서의 동작, 민감도 및 흡착에너지 특성을 분석하였다.
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Collections - IT융합대학 > 전기공학과 > 1. Journal Articles
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Related Researcher
- Jang, Kyung Uk
- College of IT Convergence (Department of Electrical Engineering)