RF Power 변화에 의한 CdS 박막 특성에 관한 연구The Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
- Other Titles
- The Korea Institute of Information, Electronics, and Communication Technology
- Authors
- 이달호; 박정철
- Issue Date
- Apr-2021
- Publisher
- 한국정보전자통신기술학회
- Keywords
- band gap; density; ITO glass; photoabsorption; RF power; transmittance
- Citation
- 한국정보전자통신기술학회 논문지, v.14, no.2, pp.122 - 127
- Journal Title
- 한국정보전자통신기술학회 논문지
- Volume
- 14
- Number
- 2
- Start Page
- 122
- End Page
- 127
- URI
- https://scholarworks.bwise.kr/gachon/handle/2020.sw.gachon/80889
- ISSN
- 2005-081X
- Abstract
- 본 논문은 ITO 유리를 기판으로 사용하여 CdS 박막을 제작하였다. MDS (Multiplex Deposition Sputter System)을 이용하여 RF power와 증착시간을 변화시키면서 소자를 제작하였다. 제작된 시편은 광학적 특성에 대해 분석을 하였다. 본 논문의 목적은 태양전지의 광흡수층에 적용될 수 있는 제작조건을 찾는 것이다. RF power가 50W이고 증착시간이 10분 일 때, 두께는 64Å로 측정되었다. 100W일떄, 두께는 406Å로 측정되었고, 150W일 때는 두꼐는 889Å로 측정되었다. 박막은 RF power가 증가할수록 두께가 증가되는 것을 확인하였다. 광투과율 측정한 결과, 550~850nm는 RF power가 50W, 100W, 150W일 때 모두 투과율이 대략 70% 이상으로 관찰되었다. RF power가 증가되면 두께가 증가되고 입자 크기가 커지므로 박막의 밀도가 증가되어 광투과율이 감소되었다. RF power를 100W로 하고 증착시간을 15분 일 때, 밴드갭은 3.998eV로 계산되었다. 증착시간을 20분일 때, 3.987eV이고 150W는 15분에서는 3.965eV이며 20분에서는 3.831eV이다. RF power가 증가하면 밴드갭이 증가하는 것으로 측정되었다. XRD 분석에서 RF power와 증착시간의 변화에 관계없이 2Θ=26.44에서의 회절 피크를 관찰할 수가 있었다. 반치폭은 증착시간이 증가하면 감소되는 것을 알 수가 있었다. 그리고 RF power를 일정하게 하고 증착시간을 증가하면 입자크기는 증가되는 것으로 측정되었다.
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