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IGZO 반도체 및 구리 전극의 deep-UV/IPL 광어닐링 공정을 통한 TFT 특성 연구
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장용래; 문창진; 박종휘;
김학성
Article
Issue Date
2019
Citation
대한기계학회 재료 및 파괴부문 2019년도 춘계학술대회 논문집, pp.43 - 44
Publisher
대한기계학회
OTHER
복합광원을 이용한 은기반 전극과 산화물 반도체의 다층 연속어닐링과 이를 통한 박막 트랜지스터 제작 연구
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문창진;
김학성
Article
Issue Date
2019
Citation
대한기계학회 재료 및 파괴부문 2019년도 춘계학술대회 논문집, pp.65 - 66
Publisher
대한기계학회
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