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KCI
SRAF를 적용한 극자외선 노광기술용 위상 변위 마스크의 반사도에 따른 이미징 특성 연구Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 조한구; 안진호

ArticleIssue Date2015Citation반도체디스플레이기술학회지, v.14, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회
KCI
극자외선 리소그라피에서의 Sub-resolution assist feature를 이용한 근접효과보정Go to Link

김정식; 홍성철; 장용주; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.3, pp 1 - 5Publisher한국반도체디스플레이기술학회
SCIESCOPUSKCI
나노스케일 질화규소 멤브레인의 기계적, 열적 특성 분석Go to Linkopen access

장용주; 신현진; 위성주; 김하늘; 이기성; 안진호

ArticleIssue Date2019CitationKOREAN JOURNAL OF METALS AND MATERIALS, v.57, no.2, pp.124 - 129PublisherKOREAN INST METALS MATERIALS
OTHER
보일러 급수펌프 구동 방식에 따른 500 MW급 석탄화력 발전 성능 비교Go to Link

장용주; 문승재

ArticleIssue Date2014Citation2014 한국플랜트학회 학술대회, v.2014, no.1, pp.146 - 151Publisher한국플랜트학회
KCI
위상변위 극자외선 마스크의 흡수체 패턴의 기울기에 대한 오차허용도 향상Go to Link

장용주; 김정식; 홍성철; 안진호

ArticleIssue Date2016Citation반도체디스플레이기술학회지, v.15, no.2, pp 32 - 37Publisher한국반도체디스플레이기술학회
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