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유도 결합 플라즈마 E-mode에서 비활성기체 Ar,He,Ne 혼합 플라즈마의 밀도 역전과 히스테리시스 감소 현상 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 18-Nov-2021
- Publisher
- 한국반도체디스플레이기술학회
- Citation
- 2021년 반도체디스플레이 추계학술대회
- Conference Name
- 2021년 반도체디스플레이 추계학술대회
- Place
- Virtual
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)