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고주파수 고조화 분석법을 이용한 펄스 플라즈마 진단
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 18-Aug-2021
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 한국진공학회 제61회 하계정기학술대회
- Conference Name
- 한국진공학회 제61회 하계정기학술대회
- Place
- 제주도 소노캄
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)