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정전기력을 고려한 MEMS 가속도계 성능분석MEMS Accelerometer Performance Analysis Undertaking Electrostatic Force
- Other Titles
- MEMS Accelerometer Performance Analysis Undertaking Electrostatic Force
- Issue Date
- Apr-2012
- Publisher
- 대한기계학회
- Citation
- 대한기계학회 2012년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집, no. , pp. 267 - 268
- Indexed
- OTHER
- Journal Title
- 대한기계학회 2012년도 동역학 및 제어부문 춘계학술대회 논문집
- Start Page
- 267
- End Page
- 268
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 기계공학부 > 1. Journal Articles
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