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페라이트 유도 결합 플라즈마 특성 연구
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 이경효 | - |
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.contributor.author | 이영광 | - |
| dc.contributor.author | 이원기 | - |
| dc.contributor.author | 조성원 | - |
| dc.contributor.author | 최익진 | - |
| dc.date.accessioned | 2022-12-21T07:01:43Z | - |
| dc.date.available | 2022-12-21T07:01:43Z | - |
| dc.date.issued | 2007-07 | - |
| dc.identifier.issn | 0374-4914 | - |
| dc.identifier.issn | 2289-0041 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/179808 | - |
| dc.description.abstract | 페라이트를 이용한 새로운 형태의 유도 결합 플라즈마 (ICP) 장치를 구성하고 넓은 범위에서 특성을 평가하였다. 역률이 1에 가까워 안테나 전압과 전류가 일반적인 ICP에 비해 낮았고, 최고 99 \%에 이르는 높은 전력 전달 효율을 나타냈다. 200 mm 영역에서 측정된 플라즈마 밀도 분포는 최저 수 \% 정도의 불균일도를 나타냈다. 전자 온도는 1.8 $\sim$ 4.5 eV, 플라즈마 전위는 6 $\sim$ 17 V 의 값을 보였다. | - |
| dc.format.extent | 8 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | KOR | - |
| dc.publisher | 한국물리학회 | - |
| dc.title | 페라이트 유도 결합 플라즈마 특성 연구 | - |
| dc.title.alternative | Characterization of a Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.publisher.location | 대한민국 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 새물리, v.55, no.1, pp 28 - 35 | - |
| dc.citation.title | 새물리 | - |
| dc.citation.volume | 55 | - |
| dc.citation.number | 1 | - |
| dc.citation.startPage | 28 | - |
| dc.citation.endPage | 35 | - |
| dc.identifier.kciid | ART001084656 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 플라즈마 소스 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 전력 효율 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 강자성체 유도 결합 플라즈마 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Plasma sources | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Power transfer efficiency | - |
| dc.subject.keywordAuthor | Ferrite ICP | - |
| dc.identifier.url | https://www.npsm-kps.org/journal/view.html?uid=1113&vmd=Full | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 1. Journal Articles
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)