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페라이트 유도 결합 플라즈마 특성 연구Characterization of a Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma
- Other Titles
- Characterization of a Ferromagnetic Inductively Coupled Plasma
- Issue Date
- Jul-2007
- Publisher
- 한국물리학회
- Keywords
- 플라즈마 소스; 전력 효율; 강자성체 유도 결합 플라즈마; Plasma sources; Power transfer efficiency; Ferrite ICP
- Citation
- 새물리, v.55, no.1, pp.28 - 35
- Indexed
- KCI
- Journal Title
- 새물리
- Volume
- 55
- Number
- 1
- Start Page
- 28
- End Page
- 35
- ISSN
- 0374-4914
- Abstract
- 페라이트를 이용한 새로운 형태의 유도 결합 플라즈마 (ICP) 장치를 구성하고 넓은 범위에서 특성을 평가하였다. 역률이 1에 가까워 안테나 전압과 전류가 일반적인 ICP에 비해 낮았고, 최고 99 \%에 이르는 높은 전력 전달 효율을 나타냈다. 200 mm 영역에서 측정된 플라즈마 밀도 분포는 최저 수 \% 정도의 불균일도를 나타냈다. 전자 온도는 1.8 $\sim$ 4.5 eV, 플라즈마 전위는 6 $\sim$ 17 V 의 값을 보였다.
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 1. Journal Articles
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)