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유도 결합 플라즈마에서 바이어스 전력에 따른 웨이퍼 위치에서의 전자 온도 및 이온 밀도 측정
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 10-Feb-2023
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 제64회 한국진공학회
- Conference Name
- 제64회 한국진공학회
- Place
- 웰리힐리파크(강원도 횡성)
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)