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원거리 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 탄소 함유 실리콘 기반 저 유전율 물질의 특성
- Authors
- 전형탁
- Issue Date
- 9-May-2019
- Place
- 제주대학교 아라컨벤션홀
- Conference Name
- 2019년 춘계학술대회 반도체&디스플레이산업 지속 성장을 위한 기술혁신 전략
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 신소재공학부 > 2. Conference Papers
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