테라헤르츠파를 이용한 실리콘 웨이퍼의 도핑 정도와 물리적 특성 측정에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | Park, Sung Hyeon | - |
dc.contributor.author | Oh, Gyung Hwan | - |
dc.contributor.author | Kim, Hak Sung | - |
dc.date.accessioned | 2021-08-02T15:51:27Z | - |
dc.date.available | 2021-08-02T15:51:27Z | - |
dc.date.created | 2021-05-11 | - |
dc.date.issued | 2017-02 | - |
dc.identifier.issn | 1225-7842 | - |
dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/21207 | - |
dc.description.abstract | 본 논문에서는 테라헤르츠파 시간분광영상시스템을 이용하여 도핑된 실리콘 웨이퍼의 물리적 특성을 측정하는 것에 관한 연구를 진행하였다. 투과모드와 30°의 입사각을 가진 반사모드를 이용하여 측정하였으며 실리콘 웨이퍼의 도핑 정도는 N-type과 P-type 모두에서 1014에서 1018까지 다양하게 준비하였다. 그 결과, 도핑 정도와 테라헤르츠파와의 상관관계를 찾았으며 이를 이용하면 모든 경우에 대한 도핑된 실리콘 웨이퍼의 도핑 정도를 확인할 수 있다. 또한, 각 도핑된 실리콘 웨이퍼의 도핑된 두께, 굴절률, 유전율을 테라헤르츠 시간영역 파형분석을 통하여 계산할 수 있었다. 따라서, 테라헤르츠 시간분광영상화 기술은 도핑된 실리콘 웨이퍼의 굴절률과 유전율과 같은 물리적 특성뿐만 아니라 도핑 정도를 측정할 수 있는 유용한 기술이 될 것으로 기대된다. | - |
dc.language | 한국어 | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | KOREAN SOC NONDESTRUCTIVE TESTING | - |
dc.title | 테라헤르츠파를 이용한 실리콘 웨이퍼의 도핑 정도와 물리적 특성 측정에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | The Doping Concentration and Physical Properties Measurement of Silicon Wafer Using Terahertz Wave | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | Kim, Hak Sung | - |
dc.identifier.doi | 10.7779/JKSNT.2017.37.1.1 | - |
dc.identifier.wosid | 000407453100001 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY FOR NONDESTRUCTIVE TESTING, v.37, no.1, pp.1 - 6 | - |
dc.relation.isPartOf | JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY FOR NONDESTRUCTIVE TESTING | - |
dc.citation.title | JOURNAL OF THE KOREAN SOCIETY FOR NONDESTRUCTIVE TESTING | - |
dc.citation.volume | 37 | - |
dc.citation.number | 1 | - |
dc.citation.startPage | 1 | - |
dc.citation.endPage | 6 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.type.docType | Article | - |
dc.identifier.kciid | ART002199349 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.isOpenAccess | N | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.relation.journalResearchArea | Materials Science | - |
dc.relation.journalWebOfScienceCategory | Materials Science, Characterization & Testing | - |
dc.subject.keywordPlus | DOMAIN | - |
dc.subject.keywordPlus | TIME | - |
dc.subject.keywordPlus | COMPOSITE | - |
dc.subject.keywordPlus | WEAPONS | - |
dc.subject.keywordAuthor | Terahertz Wave | - |
dc.subject.keywordAuthor | Silicon Wafer | - |
dc.subject.keywordAuthor | Doping Concentration | - |
dc.subject.keywordAuthor | Refractive Index | - |
dc.subject.keywordAuthor | Permittivity | - |
dc.identifier.url | http://koreascience.or.kr/article/JAKO201713056891402.page | - |
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