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저밀도 플라즈마 진단을 위한 단일 랑뮤어 탐침법에서 외장필터개선에 관한 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 21-Apr-2016
- Publisher
- 한국반도체디스플레이기술학회
- Citation
- 2016년 춘계 한국반도체디스플레이기술학회
- Conference Name
- 2016년 춘계 한국반도체디스플레이기술학회
- Place
- 전주, 전북대학교
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)