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엑스선 현미경을 이용한 프린팅 전극 질량 검사 기법
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 김지석 | - |
| dc.contributor.author | 김용균 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-07-30T05:31:26Z | - |
| dc.date.available | 2021-07-30T05:31:26Z | - |
| dc.date.created | 2021-05-14 | - |
| dc.date.issued | 2019-04 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/5218 | - |
| dc.language | 한국어 | - |
| dc.language.iso | ko | - |
| dc.publisher | 대한방사선방어학회 | - |
| dc.title | 엑스선 현미경을 이용한 프린팅 전극 질량 검사 기법 | - |
| dc.type | Article | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | 김용균 | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 2019년도 대한방사선방어학회 춘계 학술발표회 논문요약집, pp.284 - 285 | - |
| dc.relation.isPartOf | 2019년도 대한방사선방어학회 춘계 학술발표회 논문요약집 | - |
| dc.citation.title | 2019년도 대한방사선방어학회 춘계 학술발표회 논문요약집 | - |
| dc.citation.startPage | 284 | - |
| dc.citation.endPage | 285 | - |
| dc.type.rims | ART | - |
| dc.type.docType | Proceeding | - |
| dc.description.journalClass | 3 | - |
| dc.description.isOpenAccess | N | - |
| dc.description.journalRegisteredClass | other | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 질량 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 반도체 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 검사 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 엑스선 | - |
| dc.subject.keywordAuthor | 현미경 | - |
| dc.identifier.url | https://www.earticle.net/Article/A357498 | - |
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- Kim, Yong Kyun
- COLLEGE OF ENGINEERING (DEPARTMENT OF NUCLEAR ENGINEERING)