Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
전력 공급 방식에 따른 유도 결합 플라즈마 특성 변화 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 10-Feb-2012
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 한국진공학회 동계 정기 학술대회
- Conference Name
- 한국진공학회 동계 정기 학술대회
- Place
- 보광휘닉스파크
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)