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고주파수 축전 결합 플라즈마에서 플라즈마 변수들이 전기장 분포에 미치는 영향에 대한 연구

Authors
정진욱
Issue Date
10-Feb-2012
Publisher
한국진공학회
Citation
한국진공학회 동계 정기 학술대회
URI
https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/52676
Conference Name
한국진공학회 동계 정기 학술대회
Place
보광휘닉스파크
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Appears in
Collections
서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers

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Chung, Chin Wook
COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)
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