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반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | 정진욱 | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-03T18:17:41Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-03T18:17:41Z | - |
| dc.date.issued | 2011-02-09 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholarworks.bwise.kr/hanyang/handle/2021.sw.hanyang/56167 | - |
| dc.title | 반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.citation.conferenceName | 제40회 한국진공학회 동계정기학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | 한국, 강원도 평창 | - |
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Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)