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반도체 플라즈마 이온 주입공정에서 직류 펄스 전압, 전류 감지를 통한 실시간 도즈 모니터링 시스템 개발
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 9-Feb-2011
- Place
- 한국, 강원도 평창
- Conference Name
- 제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
- Files in This Item
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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Related Researcher
- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)