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비대칭 전극 구조를 갖는 용량성 결합 플라즈마에서의 방전 특성과 전력 소비 모드 전이에 관한 연구
- Authors
- 정진욱
- Issue Date
- 9-Feb-2011
- Place
- 한국, 강원도 평창
- Conference Name
- 제40회 한국진공학회 동계정기학술대회
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- Appears in
Collections - 서울 공과대학 > 서울 전기공학전공 > 2. Conference Papers
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- Chung, Chin Wook
- COLLEGE OF ENGINEERING (MAJOR IN ELECTRICAL ENGINEERING)